洛阳混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点，但又有许多不同，混合气体除了要保证其配制浓度的高精度外，更需要气体具有优良的品质，换言之，混合气体必须要确保混合好的气体中含有的有害杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线，也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。

　　1、混合气体的气瓶处理

　　同其他气体不同，对盛装混合气体的气瓶的要求十分严格，否则，即便是混合气体配制的准确度再高，稳定性再好也无法使用。

　　首先混合气体的气瓶几何尺寸，如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域，气瓶通常安放在气瓶柜内使用，气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后，气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的洛阳混合气体在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准，如美国的CGA、欧盟的ISO等，我们国家在此方面仍在认识和完善中。

　　2、混合气体配制装置技术要求

　　同其他标准气体制备不同的是，配制混合气体的装置似乎更为复杂，洛阳混合气体配气装置所用的管路必须是EP级别，材质为316L，精密压力表或压力传感器精度优于0.25级，材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。

　　混合气常用的平衡气或称底气：N2，H2，He，Ar，O2;组分气：PH3，SiH4，B2h6，Sih6，GeH4，AsH3，TMB，BF3等，为了减少平衡气体中有害杂质的含量，设有平衡气体高压净化器，通过净化平衡气的纯度大于99.9999%，在净化器的出口设有在线H2O，O2检测仪表，随时反映净化器出口气体关键杂质的含量。

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